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michael是什么意思:如何对薄膜加工工艺参数进行计算
来源:百度文库 编辑:
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时间:2024/04/29 23:39:45
分析设计实现场氧化,栅氧化,多晶硅栅层或掩膜氧化膜等的工艺方法和工艺条件(给出具体温度,时间或流量,速度等),并进行结深验证。
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