长征线路:硅片烧结炉 工作原理

来源：百度文库 编辑：高校问答 时间：2024/05/15 03:59:30

我原先接触到用碳晶棒(好象原料是SiC)作为加热元件的加热炉,也是利用电加热的:它们有电阻,通电可以发热,工作温度可达1000度左右.

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